一、项目基本情况
项目编号：2025BFAHZ00496
******大学智慧教学及先进技术设备更新项目（一）
首次公告日期：2025年03月28日
二、更正信息
更正事项：? 采购公告 ? 采购文件 □ 采购结果
更正内容：
1、本项目招标文件第三章采购需求-“▲X射线光电子能谱仪（XPS）”技术参数及要求修改如下： 序号 货物名称 技术参数及要求 1 ▲X射线光电子能谱仪（XPS） 1. 真空系统 1.1 分析室 1.1.1 真空腔体为厚度不小于 5mm 纯μ金属制造， 极限真空≤5.0×10-10 mbar； 1.1.2 配置机械泵，涡轮分子泵（抽速260升/秒）及钛升华泵各一套。 1.2 进样室 1.2.1 极限真空≤7.0×10-9 mbar； 1.2.2 配置涡轮分子泵和机械泵各一套； 1.3 样品制备室 ●1.3.1 极限真空≤7.0×10-9 mbar； 1.3.2 配置涡轮分子泵和机械泵各一套； 1.4 配备自动真空烘烤装置； 1.5 真空监测装置：可实现大气至1.0×10-10 mbar范围内压力连续测量，同时各真空腔室压力实时显示于系统软件界面上。 2. 单色化X射线源 2.1 X射线源类型：微聚焦单色化Al Kα X射线源 ●2.2 X射线源-源束斑规格（非成像尺寸）多档可调，且可调档位≥5档； ●2.3 分析束斑规格（非成像尺寸）多档可调，且可调档位≥12档； 2.4 最佳能量分辨率和灵敏度：以Ag 3d5/2峰为例，半高宽≤0.43 eV时，计数率≥90 kcps； 2.5 常规能量分辨率和灵敏度 2.5.1 以Ag 3d5/2峰为例，半高宽≤0.45 eV时，计数率≥160 kcps； 2.5.2 以Ag 3d5/2峰为例，半高宽≤0.60 eV时，计数率≥1800 kcps； 2.6 阳极靶靶点应≥16个。 3. 能量分析器 3.1 180°半球型能量分析器，半径≥150 mm； 3.2 能量扫描范围：0 ~ 3000 eV； 3.3 通过能范围：0 ~ 400 eV，连续可调； ●3.4 透镜模式：配置磁透镜模式和静电模式。 4. 检测器 4.1结构组成：至少配置一块可同时记录光电子发射位置及其强度的检测器； 4.2检测器信号线性范围：最高计数率≥107cps； 4.3 检测器物理通道数至少满足：128×128； ●4.4具备成像功能，对边缘锐利的刃口样品线扫描的最佳空间分辨率≤5.5μm； 5. 荷电中和系统 5.1 荷电中和系统适用于所有不导电样品及粗糙表面的精准荷电中和，无需调节电压、束流和气压等操作； 5.2 结构组成 5.2.1 提供单电子源，中和电子能量不大于5 eV； ●5.2.2 提供超低能离子源，中和离子能量不大于5 eV； ●5.3 能量分辨率和灵敏度： 对PET绝缘样品，在O-C=O结构中C 1s峰能量分辨（半高宽）≤0.68eV时，C-C/C-H结构中 C 1s峰的灵敏度≥20 kcps。 6. 样品控制和观察系统 6.1 样品台 6.1.1 轴向：五轴样品台，即X、Y、Z方向移动，倾斜和旋转，由计算机自动控制； 6.1.2 移动功能：X方向移动距离≥50 mm， Y方向移动距离≥20 mm， Z方向移动距离≥8 mm，移动精度≤1 μm，倾斜精度≤1°； 6.2 样品观察 ●6.2.1 分析室：配置变焦CCD相机，通过软件控制可在不同的放大倍率下实时观察、精确定位分析位置和截取图像；通过可变焦CCD相机和实时成像系统确定分析位置，软件可自动确定最佳的分析高度； 6.2.2配置 CCD 相机，可观察、精确定位分析位置和截取图像； 6.3 进样室和样品制备室均配置可一次装入并存储3个样品条的多样品停放台。 7. 深度剖析离子枪 7.1 离子源类型：配置单Ar原子和团簇Ar双模式的复合离子源； 7.2 可使用气体：Ar/Ar团簇，用于XPS深度剖析； 7.3 单Ar离子能量在0.5 ~ 4.0 keV之间可调； 7.4 团簇Ar离子能量在2.0 ~ 8.0 keV之间可调； 7.5 团簇Ar离子团簇数目在500 ~ 2000之间可调； 7.6 气体控制：软件控制，配套高精度进气阀门和差分真空抽气系统。 8. 离子散射谱（ISS）功能 8.1 离子源：可使用He气作为分析离子源； ●8.2 能量分辨和灵敏度：使用1 keV的He离子入射到清洁的 Au 表面上，Au峰的能量分辨≤12 eV时其灵敏度≥25 kcps/nA。 9. 反射电子能量损失谱（REELS）功能 9.1 能量分辨率和灵敏度：对于干净的银样品，能量分辨率为0.50 eV 时，灵敏度应≥1000 kcps。 10. 紫外光电子能谱（UPS）功能 10.1 光源：全自动He紫外光源； ●10.2 最佳能量分辨率和灵敏度：对Ag费米边，当能量分辨率≤100 meV时，灵敏度（Ag4d）≥1 Mcps； 10.3系统配有满足绝缘样品UPS分析时荷电中和需要的静电模式中和源。 11. 角分辨 XPS 功能 11.1 配置步进马达样品托，最佳角度分辨≤1°； 11.2 内置角分辨 XPS 数据处理功能，并能实现膜厚计算等功能。 12. 光纤导入模块 12.1 该模块需采用标准的 CF 接口，用于引入光纤； 12.2 预留光纤芯径≥600 μm，波长范围200~1200 nm，最大功率≥1 W； 12.3 配备一套线性驱动和扭摆装置，用于调节样品上光斑位置及焦点； 12.4 配备氙灯光源，光谱能量连续输出，能量范围200-2000 nm。 13. 加热制冷附件 13.1 分析室配备加热制冷附件和控制软件； 13.2 样品托温度调节范围至少满足：-100℃~325℃，自动控温，温度控制精度1℃。 14. 等离子体清洗装置 14.1 功能要求：需能够有效清除腔体内附着的污染物； 14.2 安装法兰：nw35cf全金属密封法兰，带未漏阀。 15. 谱仪控制和数据处理 15.1 谱仪控制 15.1.1 谱仪参数设置、分析部件等均可通过系统软件控制； 15.1.2 系统软件具备可视化操作界面，实现对真空泵、阀门、真空规、离子枪、中和枪及加热冷却等控制； 15.1.3 仪器控制终端1台，用于操控仪器运行及数据收集，配置不低于8GB内存/1TB硬盘/23 英寸显示器； 15.2 数据处理 15.2.1 提供嵌入系统数据分析软件中的完整XPS和ISS等数据库，用户可直接调用标准谱图数据与原始测试数据进行对比； 15.2.2 数据处理终端1台，用于数据处理和存储，配置不低于8GB内存/1TB硬盘/23 英寸显示器，其中显示器不少于2个； 15.2.3 软件终生升级，提供正版不受限全功能完整版数据处理软件包≥2个，（费用含在报价中）。 16. 附件、备件及辅助设备 16.1 消耗品备件包3套（每套至少包括但不限于以下内容：阳极靶套件× 1，单色阳极灯丝× 1，荷电中和器套件× 1，离子枪灯丝套件×2， REELS电子枪灯丝×1，钛升华泵灯丝×6，机械泵油4升，循环水滤芯2个等），标准工具包1套，密封组件1套，减压阀4个（材质：黄铜×2，黄铜镍电镀×2）； 16.2 循环冷却水系统：满足阳极靶、涡轮分子泵和石英单色器冷却的需要，恒温范围：8-35℃，循环泵流量：6.4 L/min； 16.3 不间断电源系统： 功率不低于10kV不间断电源1套，保证仪器待机时间≥6小时，工作时间≥1小时； 16.4 空气/水分敏感样品转移仓2套，可完全放置于仪器主机的进样仓内，具有高真空密封组件； 16.5 电动粉末压片机1套（压力范围 0-20吨）； 16.6 电子防潮柜1套（综合控湿：45%-70% RH），电脑桌椅2套； 16.7 除湿机1台（除湿量（L/D）≤30），彩色双面激光打印机 1台（打印速度：黑白和彩色均为 22页/min；打印分辨率：最高可达1200×1200 DPI）； 16.8 设备安装时必要的物理隔断和线路。 17. 整体配置清单 17.1 XPS主机系统 1套 17.2 复合式离子刻蚀套件 1套 17.3 紫外光电子能谱套件 1套 17.4 分析室加热冷却套件 1套 17.5 空气/水分敏感样品转移仓 2套 17.6 光纤导入系统（含氙灯光源） 1套 17.7 低温等离子清洗系统 1套 17.8 循环冷却水系统 1套 17.9 不间断电源系统 1套 17.10 电动粉末压片机 1套 17.11 电子防潮柜 1套 17.12 消耗品备件包 3套 17.13 除湿机 1台 2、本项目招标文件第四章评标方法和标准-“技术参数及要求”和“业绩”评分项修改如下： 评分内容 评分标准 分值范围 技术参数及要求 根据投标文件对招标文件采购需求货物需求表中的“●”指标的响应情况进行评分： ●指标，每满足一项得5分，共10项，共计50分。 注：（1）如某项标识中包含多条技术参数或要求，则该项标识所含内容均需满足或优于招标文件要求，否则不予认可。 （2）以投标响应表和货物需求中要求提供的证明材料作为评审依据。 0-50分 业绩 自2022年1月1日以来（以合同签订时间为准），投标人具有所投产品（同品牌可不同型号）的供货安装项目业绩，每提供1个业绩得 1 分，满分5分。 注：投标文件中提供业绩合同及验收合格证明材料扫描件，如合同及验收合格证明材料中无法体现产品品牌、合同签订时间等评审因素，须另附业主单位盖章的证明文件扫描件。 0-5分 3、本项目获取招标文件和提交（上传）投标文件截止时间（开标时间）延期至：2025年5月13日11点00分。 4、本项目提交（上传）投标文件地点（开标地点）变更为：合肥市滨湖新区南京路2588号要素交易市场A区（徽州大道与南京路交口）2楼8号开标室。
更正日期：2025年04月27日
三、其他补充事宜
1、关于“▲X射线光电子能谱仪（XPS）”部分技术参数及要求的疑问。
答：（1）针对“样品制备室”相关参数，该设备购置后交由校级分析测试平台统一管理，并面向校内所有院所的老师开放共享，由于该设备测试的样品类型和成分复杂多样化，系统要求配置样品预制备室、多层样品停放台和等离子清洗，原因如下：①多级真空腔体可以最大限度避免样品污染分析室（例如钙钛矿类含I元素样品，预抽减少I元素迁移造成的污染），确保系统长期稳定运行；②采用预制备室和配套样品台可以有效提升测样效率。预制备室多层样品台方便大批量样品等离子处理，而在预制备室的清洗过程不影响进样室的正常样品进样，提高测试效率；③在预制备室中配置等离子清洗可以保证等离子清洗不损伤进样室安装的其他器件，如拍照相机、空气/水分敏感样品转移仓装置接口附件等，取消预制备室则不******大学后期也会拓展更多原位功能，有预备室可以保留更多的扩展功能。 （2）针对2.2和2.3条，①2.2条为X射线光斑尺寸规格，大尺寸光斑可以增强信号灵敏度提高微量元素的测试数据质量，小尺寸光斑可以减少X射线光斑对敏感样品的辐照损伤面积。因此要求X射线光斑需要涵盖一定尺寸大小，以满足不同类型样品测试需要。由于各厂家设计不同，每个厂商的规格尺寸均已涵盖了足够大的尺寸范围（数百微米）但仍存在一定差异，因此仅对最低可调档数进行了限定，以避免指定尺寸造成的参数偏向性，投标产品可以满足该档位要求即可；②2.3条为分析面积尺寸规格，该规格可以通过调节不同X射线光斑尺寸实现，也可以通过调节光阑限定不同的分析面积实现。该条款是对X射线光斑尺寸规格的补充。由于各厂家设计不同，部分厂家的X射线光斑面积调节程度更灵活，而部分厂商的光源调节灵活程度不够大，在固定X射线光斑尺寸下，通过调节光阑的方式对分析面积进行限定，可以进一步拓展分析面积的可选灵活性，弥补X射线光源调节灵活性的不足。此条款是为满足不同特征尺寸大小样品的测试需要，要求厂商提供一定的面积调节灵活性。由于各厂家设计不同，每个厂商的限定分析面积方式和具体规格不同，因此仅对分析面积可调档数进行了限定，以避免指定尺寸造成的参数偏向性，投标产品可以满足该档位要求即可； （3）针对5.1条，我校要求设备具备精准调控荷电的功能的设备，可以满足我校在使用过程中面对不同样品的需求，无需调节电压、束流和气压等操作，也可以大大简化设备操作。 （4）针对5.2.2条，使用离子协同电子进行荷电中和的技术被广泛用于XPS设备，配备离子中和枪能有效保证XPS分析有最大的样品适用性范围，避免电子过中和现象导致荷电偏移大幅干扰碳材料的C元素分析，符合测试平台应对各类样品测试的基本要求。 上述参数的设置与实际需要相匹配，经采购人确认，市场上不少于三个品牌产品（赛默飞，费勉，贝克斯帝尔等）满足上述要求，无限制性，故招标文件不修改。 注：（1）本项目实施全流程电子化交易，投标文件实施网上远程解密，投标人无需前往开标现场。 （2）此公告视同采购文件的组成部分，与采购文件具有同等法律效力。请投标人及时下载。四、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系
1.采购人信息
******大学
地址：马鞍山市花山区湖东北路400号
联系方式：******
2.采购代理机构信息
******有限公司
地址：合肥市滨湖新区南京路2588号（徽州大道与南京路交口）六楼
联系方式：0551-******
3.项目联系方式
项目联系人：李工
电话：0551-******
附件信息：
【1】凡本网注明来源："今日招标网"的所有文字、图片和音视频稿件，版权均属于今日招标网，转载请必须注明机今日招标网，违反者本网将追究相关法律责任。
【2】本网转载并注明自其它来源的作品，是本着为读者传递更多信息之目的，并不代表本网赞同其观点或证实其内容的真实性，不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时，必须保留本网注明的作品来源，并自负版权等法律责任。
【3】如涉及作品内容、版权等问题，请在作品发表之日起一周内与本网联系。
